產(chǎn)品概述： GM-2F是一款二通道混氣系統(tǒng)（單進(jìn)單出或兩混氣），用于情性氣體的控制，可用于管式爐、手套箱、等離子清洗機(jī)、CVD系統(tǒng)、小型PECVD系統(tǒng)等。
GYS-3F是一款二通道混氣系統(tǒng)（1單獨(dú)2混氣），用于情性氣體的控制，可用于管式爐、等離子清洗機(jī)、CVD系統(tǒng)、小型PECVD系統(tǒng)等。
GYS-4F是一款二通道混氣系統(tǒng)（1單獨(dú)3混氣），用于情性氣體的控制，可用于管式爐、等離子清洗機(jī)、CVD系統(tǒng)、小型PECVD系統(tǒng)等。

- ?浮子流量計(jì)量程：10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min
  ?精度：4%
  ?壓力表量程：-0.1-0.15MPa
?通氣管道：φ6.35mm的聚四氟管
?選配：浮子流量計(jì)量程可選配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。
?混氣罐尺寸：φ76*長154mm
?外形尺寸：長610mm*寬610mm*高710mm
?重量：約30Kg

詳細(xì)描述：

技術(shù) 資料
產(chǎn)品型號	?供氣系統(tǒng) GYS-2F/3F/4F
產(chǎn)品特點(diǎn)	?適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。 ?尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進(jìn)入加熱管。 ?氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡便。 ?顯示流量準(zhǔn)確，可有效控制氣體的消耗量 ?設(shè)備底部有滾動輪，方便移動使用方便，無需通電
產(chǎn)品參數(shù)	?浮子流量計(jì)量程：10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min； ?精度：4% ?壓力表量程：-0.1-0.15MPa ?通氣管道：φ6.35mm的聚四氟管 ?選配：浮子流量計(jì)量程可選配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。
混氣罐	?內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐，可更好的混合氣體 ?混氣罐尺寸：直徑76*長154mm
氣口/閥門	?背面的進(jìn)氣與出氣口均為φ6.35的卡套接頭，進(jìn)氣口通過四氟管連接氣瓶，出氣口通過四氟管連接到設(shè)備的進(jìn)氣口 ?兩個通道氣體進(jìn)入混氣罐混氣，一個氣體通道獨(dú)立 ?前面板的四個不銹鋼針閥控制氣體的進(jìn)出，獨(dú)立通道的進(jìn)出氣不受針閥控制。
產(chǎn)品尺寸	?外形尺寸：長610mm寬610mm高710mm ?重量：約30Kg
售后	?質(zhì)保期一年，終身維護(hù)；24小時在線服務(wù)
免責(zé)聲明	?本產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅供參考。如果您對參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息，請與我司銷售人員聯(lián)系。本信息不構(gòu)成任何要約或承諾，我司會不定期完善產(chǎn)品，恕不另行通知，請您見諒。