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質(zhì)子供氣系統(tǒng)GYS-2Z/3Z/4Z/5Z
產(chǎn)品概述:GYS-2Z/3Z/4Z/5Z是一款低成本的流量計控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜最大可以承重1000Lbs,與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀本示都集中在一個7寸的LCD觸摸屏上,便于操控的同時,可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛應用于材料接種CVD實驗和各種材料的退火實驗。
  • ?電源:220V  50/60Hz
    ?額定功率:23 KW 
    ?最高工作溫度:1500℃(<0.5 h)

    ?精度:±1.5% FS

    ?重復精度:±0.2% FS

    ?流量計范圍:1-100SCCM;1-200SCCM; 1-500SCCM
    ?壓力表量程:-0.1~0.15MPa
    ?混氣罐尺寸:φ76*長154mm
    ?外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm

  • 詳細描述:

    產(chǎn)品型號

    ?供氣系統(tǒng) GYS-2Z/3Z/4Z/5Z 

    主要產(chǎn)品參數(shù)

    ?電源:220V 50/60HZ

    ?額定功率:23 W

             

    ?流量計范圍:1-100SCCM;1-200SCCM; 1-500SCCM

    ?有一機械壓力表安裝在前面板上,與混氣管相連接

    ?壓力表量程:-0.1~0.15MPa

    ?混氣罐尺寸:直徑76*長154mm

    主要特點

    ?適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多重氣體的切換使用,而不會造成大氣進入加熱管

    ?氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便

    ?采用觸摸屏來控制氣體的流量,顯示流量準確,方便操作

    ?所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸

    混氣罐

    ?內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐,可更好的混合氣體

    ?混氣罐尺寸:直徑76*長154mm

    氣口/閥門

    ?內(nèi)部連接管道為φ6.35

    產(chǎn)品尺寸

    ?外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm

    ?重量:約30KG

    注意事項

    ?每只氣瓶最低必須保留0.5MPa的余壓

    ?減壓閥應采用調(diào)控范圍再0.02-0.25Mpa的專用氣體減壓閥

    ?不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體,否則容易損壞通氣管道,混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設(shè)備損壞公司售后維修會收取相應的費用。

    ?流量計通道采用的材料為:00Cr17N14M02 相當于316L不銹鋼、屬膠等為易腐材料。通入的氣體應無水汽低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性與體用戶應在定貨時聲明。

    售后

    ?質(zhì)保期一年,終身維護

    ?24小時在線服務(wù)


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